双频电容耦合放电等离子体流体动力学数值模拟

建立基于导体和绝缘基板的含活性粒子的双频电容耦合放电等离子体非平衡输运过程的自恰二维流体动力学模型；采用自适应差分网格，结合增量求解技术，全区域地模拟放电全过程；采用有限元法求解二维复杂域电磁流体动力学问题，模拟刻蚀槽中微结构区电场和活性粒子密度的时空分布；采用Monte-Carlo方法跟踪离子（团）在双频电场作用下的运动过程以及化学反应过程；研究等离子体非平衡特性和参数，如各种活性粒子密度、电子温度和电场的时空分布，特别是离子（团）轰击基板表面的能量分布和角度分布；研究外部参数（如气体组分、浓度和气体压强等）和双频偏压电源参数（功率比、频率比等）对等离子体密度、电子温度、鞘层电场和离子（团）轰击基板的能量分布和角度分布以及对绝缘基板表面电荷积累的影响规律；为等离子体刻蚀工艺的参数优化和控制提供理论依据。