离子束诱导大面积定向生长碳纳米管的研究

根据不同离子注入对铝电化学特性影响甚大，利用掩模技术，在纯铝上形成纳米注入区，结合阳极氧化技术，开展离子束诱导氧化铝(AAO)纳米模板制备的研究；利用SEM技术以及对模板角扫描时离子束透过模板的束流角分布测量方法，开展氧化铝模板孔的平行度方法学研究，实现大面积（1平方厘米以上）模板孔均匀分布、高度取向（平行度好于10mrad）。利用荷能离子束团簇成膜技术，开展离子束诱导催化剂团簇在纳米模板孔内沉积的研究。结合CVD、PECVD技术，利用AAO模板的空间限域效应，在大面积（1平方厘米以上）范围内研制高度有序（平行度好于10mrad）的碳纳米管阵列，以满足加速器领域中离子束在碳纳米管中沟道导向和纳米离子束获取的需要。