微型机械粗糙表面的粘附及摩擦机理与控制

本项目针对微型机械制造和运行中存在的特殊的粘附问题和微型机械设计、制造中面临的表面效应与尺寸效应这一科学问题，旨在通过对典型微型机械实际粗糙表面结构产生粘附的物理机制进行研究，建立描述考虑表面效应和尺寸效应的粗糙表面微型机械构件粘附及稳定性的理论模型, 在此基础上，对十八烷基三氯硅烷（OTS）、全氟癸基羟基硅烷（FDTS）、类金刚石（DLC）、弹性体（SEBS）膜的抗粘附性能和摩擦、磨损特性以及电学性能分别进行系统的研究，综合其优点，并进一步研究开发出由OTS、FDTS、DLC、弹性体（SEBS）膜构筑的多层复合纳米薄膜表面改性技术，最后获得一种电控分子膜和纳米薄膜的摩擦与粘附的方法,解决长期以来困挠微型机械发展的粘附与摩擦问题，为微型机械的研究与发展奠定理论基础和科学依据。