用于传感器的石英晶体特种加工机理研究

从工程角度研究了国产石英晶体化学腐蚀特性及化学腐蚀原理给出了化学方程式，石英晶体腐蚀具有明显的方向性，在工程条件下测出了石英晶的光轴、电轴和机械腐蚀速比，研制成功了石英晶体的NH4HF2工程用化学腐蚀液和尼龙—环氧系结构固体可贴胶膜并已用在工厂生产中。本项目在成果已写入公开出版的教材中。按本研究基础设计的挠性石英摆片制造工艺水平已达到美国S、D水平，将硬脆材料通过该种加工方法批量地生产出弹性元件是石英材料加工技术上一次较大突破，属国内首创。