随着微电机械系统的发展,其相关力学量的分析和测量计术极待解决。本课题围绕着微型传感器、谐振式力传感器、多功能类皮肤触觉传感器的敏感单元等具体对象,进行了力学模型建立、有限元分析,为了对其进行实验测试,研制了对微型器件的三维力加载装置,以及压电晶体基础激励小平台,发展了一种以激光为光源的光纤式自反馈迈克尔逊干涉仪,测试了传感器的固有频率、振型、阻尼,以及在静。动载荷下应力分布等,所得结果证明:在毫米量级的微结构,有限元分析与实验检测基本一致,误差可能由于加工精度不够好而产生的,尺度效应影响尚不大,所测数据为传感器优化设计(结构造型、电子元件集成位置、响应速度等)提供了依据。
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数据更新时间:2023-05-31
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