用离子束分析法研究半导体砷化镓中碳硼氧含量及分布

基本信息
批准号:68906003
项目类别:青年科学基金项目
资助金额:4.67
负责人:韦伦存
学科分类:
依托单位:北京大学
批准年份:1989
结题年份:1993
起止时间:1990-01-01 - 1993-01-01
项目状态: 已结题
项目参与者:杨熙宏,包尚联,杨其湘
关键词:
沟道效应半导体材料砷化镓核分布方法
结项摘要

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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