双光子光聚合微加工中纳米尺度加工分辨率的机理研究

双光子光聚合微加工技术作为超精细三维加工技术可望在新型材料、信息、微机电系统、医学等众多领域发挥重要作用，是目前国际上研究热点之一。在双光子光聚合微加工技术中，突破光的衍射极限实现纳米尺度的加工分辨率是本研究领域的十分重要的研究课题之一。在我们的前期研究工作中，已经实现了纳米尺度的加工分辨，创造了15纳米的世界记录。纳米尺度加工分辨率的实质问题是如何将双光子光聚合反应限制在纳米尺度三维空间内。为解决这一问题，本项目拟从光引发剂、光聚合树脂设计、光聚合反应条件的选择与控制等方面入手，从化学与物理的角度研究光聚合反应在纳米尺度空间控制的机理，实现10纳米的双光子光聚合加工分辨率。本项目的研究工作将可以促进对纳米尺度高分子化学反应的理解，为纳米尺度化学反应提供新思路。同时，通过本项目的研究工作，可望继续保持我国在双光子光聚合微加工领域国际上的领先地位。