稀有金属微纳结构中倏逝波的多次激发和稳定性研究

采用时域有限差分电磁场计算方法，结合倏逝波的近场特性和表面等离子体的局域增强特性，分析长波长光在稀有金属微纳结构中经多次激发后的传输、调制特征。探索激发次数、不同介质、不同微纳结构及不同间隙情况下，电磁波中携带掩模细节信息的倏逝波分量和携带掩模低频信息的衍射分量的变化情况。分析通过收集这些倏逝波分量达到超衍射分辨力光刻的可能性和实用性，旨在形成一种用传统光刻光源实现45nm及以下技术节点特征尺寸的任意纳米结构制作的新原理及方法，为新型的廉价的下一代纳米光刻技术提供理论依据。