半导体多层结构的定量电子衍射分析及其失配位错研究

1.利用三束动力学分析方法，通过测量半导体超晶格会聚束电子衍射谱中两条衍射线动力学相互作用的gap宽度，我们测量了应变层超晶格的结构因子及合金含量。2.通过理论计算，我们对电子晶体学中的直接相位法和付里叶法的有效性进行了研究。我们发现，对于所有的含有重原子的材料来说，尽管运动学近似并不严格满足，但当晶体相对很薄时，低指数衍射束体现了很好的运动学效应。由此类衍射束构造出的晶体结构图与真正的晶体结构符合得很好。3.通过对层错会聚束衍射的动力学模拟计算，我们得出了一种新的判定层错性质的方法。