创新型高速纳米测量微型探头机理的研究

本项目拟利用市售DVD自动聚焦探头体积小响应快价格低的优点，通过研究磁滞误差修正技术，提高开环控制时光探头双向位移测量精度；通过研究创新型高精度微型位移传感器，实现对光探头的闭环控制，使其成为高精度的纳米测量探头。该探头测量范围最大至1mm，测量精度最高达10nm。将它用于纳米级测量仪器，可实现微小几何参数及形貌的快速测量。