基于扫描隧道显微术的电化学微细加工机理和方法研究

本项目提出和发展基于扫描探针显微术的电化学微细加工方法。在理论上研究毛细管微探针与加工基板之间的离子电流效应和电化学效应，揭示了微细加工的机理及加工质量的综合影响因素，据此建立电化微细加工的装置和相关设备，在技术上实现不同线宽的微细加工。利用自制的毛细管微探针，在ITO表面分别加工出1-10uw、0.1-1uw与≤uw线宽的铜质光栅结构，实验结果表明，加工线宽与毛细管的端口内径数量级相同，最小线宽可克服传统微细加工（如光刻）方法的极限。因此，本方法开拓了电化学微细加工的新途径，为集成电路的加工和微型机械的制作提供了广泛应用基础。本项目已发表或录用的国内外刊物论文6篇，SCI收录论文2篇，申请国家发明专刊1项。