利用申请者提出的气体摆理论和微机械加工技术研制机械气体摆式倾角传感器。重点研究微气流的摆特性,密闭气流腔的微机械结构和加工技术。其和结构型气体摆式倾角传感器相比,体积缩小70倍,响应时间缩短50%。该传感器可用于头盔、摄像机等的稳定系统。微机械气体摆式倾角传感器未见国内外报导,有科学意义和很强的实用价值。
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数据更新时间:2023-05-31
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