磁性先驱体聚合物的合成与图案化及其应用于制备磁性陶瓷MEMS

当前，随着MEMS研究向耐高温、耐磨损、抗腐蚀等苛刻环境的应用，如气体涡轮发动机的传感器、微能源燃烧室、热交换器、高能激光器的光学MEMS等，制造MEMS的传统材料硅、玻璃、聚合物和金属受到了很大的限制，这样就使得耐高温、耐磨损、抗腐蚀的陶瓷材料成为MEMS在苛刻环境中应用的首选材料。.本项目在合成分子量可调的磁性高分子化合物的基础上，研究其成型性能和高温裂解性能，实现磁性碳化硅基陶瓷材料的制备；利用先驱体转化法和软刻蚀技术，在对先驱体聚合物进行成型和图案化的基础上，通过高温裂解无机化，实现陶瓷MEMS的制备；获得磁性能可调的高分子材料和陶瓷材料。通过本项目研究，可实现在认识聚合物分子与金属元素配位结构的形成上有所创新，在先驱体聚合物和陶瓷磁性能变化机制等基本物理问题研究上有所突破，为陶瓷MEMS的发展提供材料支持。