本研究基于超晶格薄膜内界面微结构设计思想选择组分材料,采用真空双靶磁控反应溅射的方法,通过控制过程参数以制备其中某一组分厚度在一个分子层到数个纳米的纳米结构薄膜。研究选择不同组元材料,形成不同的界面微结构形态,重点研究:一是考察组分材料匹配与界面晶体生长特点的关系,运用热力学和动力学理论分析纳米结构多层膜生长过程、界面粗糙度、晶体结构与基底层的关系;二是探索多层膜中当某一组分在1到2个分子层(ML
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数据更新时间:2023-05-31
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