系统芯片的高效定点微机电热电制冷技术研究
基本信息
批准号：60306013
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：7.00
负责人：廖波
学科分类：
依托单位：北京理工大学
批准年份：2003
结题年份：2004
起止时间：2004-01-01 - 2004-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：荣吉利,孔德文,蒋剑良,陈旻,李娜,刘强,陆姗姗
关键词：
系统芯片定点制冷微机电热电
结项摘要
以解决集成电路芯片迫切需要解决的过热问题，并进一步实现系统芯片的定点制冷热管理为主要目标，提出一种基于微机电（MEMS）工艺的新型环保高效微型热电制冷器，开展热电技术和相关微机电技术的研究，包括器件模型的建立、多物理场耦合分析、结构优化、计算机仿真工艺、工艺实现、性能检测等具体工作，努力挖掘该器件体积小、重量轻、制冷快速、制冷功率密度大、成本低的潜在优势。以此研究为基础，可进一步研究将微制冷器件和
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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