仿蛾眼表面纳米锥结构的制备及其抗反射特性的研究

目前仿生纳米结构的出现给纳米制造技术提出了重大的挑战，同时仿生纳米结构表现出的奇异物性特征也给纳米尺度凝聚态物理学提出新的课题。介于目前仿生纳米结构的复杂制备技术和物性及应用方面的研究现状，本项目选择仿蛾眼纳米结构为研究对象，以大面积仿蛾眼表面纳米锥结构的制备技术及其抗反射特性为研究目标，拟发展一种简便、低成本、易控制、无需无掩膜工艺的等离子体刻蚀的新技术，获得大面积、一致性好、形貌可控的仿蛾眼表面纳米锥结构，优化和总结制备工艺，系统研究无掩膜等离子刻蚀的机制和表面纳米锥形成原理，研究大面积仿蛾眼表面纳米锥结构的抗反射特性及纳米锥形貌变化对其的影响,分析其抗反射原理,模拟和建立抗反射过程和物理模型，探讨其在光电元件和太阳能电池领域的应用潜力。总之,研究仿蛾眼表面纳米锥结构的新制造技术及其抗反射效应，无论在凝聚态物理基础研究层面,还是在纳米制造技术带来的新领域应用上都具有重大意义。