非晶多元合金膜的等离子体共聚合研究

研究了氧化性和惰性气氛下，代表性的金属有机、烃、有机硅、酰胺等化合物在射频激发辉光放电等离子体中的共聚合作用。制备了含金属（Ni、Fe、Sn等）有机聚合物膜、碳氢掺杂的金属氧化物膜、碳氢掺杂的金属氧化物膜、含Si、C、N、O等元素的多元合金膜和带极性基的亲水膜。含金属和金属氧化物膜具有纳米颗粒、镶崁结构、晶态、相态可改变等特征。多元合金膜具有非晶，复相和介于陶瓷和有机的结构。着重研究了含镍类金刚石碳和非晶多元合金膜的摩擦、磨损性能、掺碳、氧的SnOx和FeOy薄膜的气、湿敏特性和带极性基共聚膜的亲水性。在涂层摩擦字、传感和医用材料改性等方面展现了良好的应用前景。