一种新的空间半导体单晶生长实时监控系统的研究

基本信息
批准号:50172059
项目类别:面上项目
资助金额:21.00
负责人:葛培文
学科分类:
依托单位:中国科学院物理研究所
批准年份:2001
结题年份:2004
起止时间:2002-01-01 - 2004-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:俞育德,庞玉璋,翟永亮,朱振和,罗琳,董涛,洪勇
关键词:
空间实验实时监控半导体单晶
结项摘要

本系统由空间可变温场晶体炉及其控制器和地面监控中心组成。利用晶体生长的数学仿真模型,依据热电偶的遥测信号,在地面监控中心进行实时模拟生长,计算出样品中的温场及各志迳げ问勺揖霾撸允笛榻谭⒊鲆?刂噶?改善空间晶体生长条件。本系统应用于空间晶体生长实验可以提高实验成功率和晶体质量。同时也能应用于地面晶体生长。

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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