新型纳机电系统器件制作及机电耦合基础研究

随着现代加工技术的发展，制作含有纳米功能结构的纳机电系统已经成为可能并在逐渐形成热点。纳机电系统与传统微机电系统的的区别不仅仅是几何尺寸的简单缩小。有于进入纳米尺度，不但使系统的谐振频率进入GHz量级，而且量子化输运现象也将对信号的获得和提取产生影响。其他物理现象如Casimir力也可能在纳米级的结构的作用中产生显著的作用。这些特点使纳机电系统在传感、测量和基础研究方面获得广泛的应用。本项目提出制作一种新型纳机电系统器件并开展机电耦合效应基础研究，其主要研究内容是采用现代加工方法获得横向尺度小于100纳米量级的纳米梁和相应的纳米电极结构；研究一种射频锁相测量方法；测量不同温度和不同静电力作用下的纳米梁的谐振特性和挠性行为；研究纳米谐振结构的高频特性；研究纳米结构中的电荷输运行为；开展理论分析并通过上述试验研究建立相应的理论模型，为纳机电系统的进一步应用研究打下基础。