瞬态非接触法测量热扩散率和金刚石膜的热输运性

薄膜材料热扩散率的测量和研究对薄膜材料科学技术 的发展有重要意义。一般说薄膜的热扩散率有方向性。薄膜垂直方向热扩散率测试采用短脉冲闪光法，建立了二氧化碳激光器碲镉汞红外探测器，瞬态仪采集组成的测试系统。首次分析了测试器的非线性和前表面吸收浓度对测试的影响，用三层复合试样分析了吸收镀层的影响。测出了15μmNi膜、20μmAl膜和350μm金刚石膜垂直方向的热扩散率，均为国内首创。用双层复合试样闪光法，准梯形脉冲钕玻璃激光器，锑化铟探测器组成的测试系统，给出了试样背面温升解析解和计算程序，测出了热控用白漆的热扩散率。初步建成了阶跃热源法测量薄膜平行方向热扩散率的方法。