具有谐振腔结构的磁电复合薄膜的制备及其磁电效应研究

在多种衬底上制备高度择优取向的铌镁酸铅-钛酸铅（PMNT）薄膜和铁酸钴（CoFe2O4,CFO）薄膜；掌握PMNT/CFO磁电复合薄膜的结晶特点、渗流特性和磁电性能耦合特性；研究具有谐振腔结构的PMNT/CFO复合薄膜的制备工艺；掌握在谐振腔上制备的PMNT/CFO磁电复合薄膜的制备工艺、结晶性能、畴结构、薄膜厚度、界面效应、外场频率等与磁电效应之间的变化规律。在具有谐振腔的衬底上制备出性能优良的磁电薄膜，研制高灵敏度的磁敏传感器。这对于深入研究和发展新型磁电复合薄膜材料、制备高集成度、高灵敏度薄膜磁传感器件、发展我国新型电磁材料与器件等，均具有重要的意义。在谐振腔结构上制备PMNT/ CoFe2O4磁电复合薄膜的工作，未见国内外报道。